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[参考译文] DLP4710LC:强度相同的衍射阶数/钎焊光栅条件

Guru**** 657930 points
Other Parts Discussed in Thread: DLP4710, DLPC3479
请注意,本文内容源自机器翻译,可能存在语法或其它翻译错误,仅供参考。如需获取准确内容,请参阅链接中的英语原文或自行翻译。

https://e2e.ti.com/support/dlp-products-group/dlp/f/dlp-products-forum/1290989/dlp4710lc-equal-intensity-diffraction-orders-blazed-grating-condition

器件型号:DLP4710LC
主题中讨论的其他器件:DLP4710DLPC3479

尊敬的所有人:

我使用的是 DLP4710、它具有5.4µm μ m 像素间距和正交布局。 光源为405nm 激光。 我正在尝试对齐 DMD、以获得钎焊的光栅状况。 根据我的计算结果、43°入射角和-9°衍射角应该就是这样。

但是、我得到两个明显的衍射阶数、而不是一个。 在 x 方向上、我可以通过改变入射角来实现钎焊的光栅条件。 在 y 方向上、始终有两个明显的衍射阶数、在倾斜 DMD 时也是如此。

我还在 DMD 处于停止状态时观察到了这一点、因为表面平坦但像素化、我预计会出现中央明显的衍射顺序。

这可能是什么原因呢? 微镜是否会持续倾斜?

欢迎提出任何建议。

此致、

帕斯卡

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    Pascal、您好:

    欢迎回到 E2E 论坛。 感谢您继续使用我们的服务!

    我们将倾听您的疑问并咨询我们的光学专家。 我们会在接下来的几天内与您联系并提供反馈。

    此致!

    麦克斯因

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    您好 Maxine:

    感谢您的回答。 您是否已经从光学专家那里获得了一些反馈?

    此致、

    帕斯卡

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    Pascal、您好:

    感谢您的耐心。  我确实需要一些其他信息来进行回复。

    1. DMD 是否可以运行? 如果是、DMD 上显示的是哪种类型的图像/图案?

    2、您是如何驾驶 DMD 的?

    3.激光和 DMD 之间有什么类型的光学器件? 光学元件的 F/号是什么。

    4. DMD 之后是否有投影光学元件? 如果是、那么什么类型和什么是 F/#

    您能否捕获图片并上传?

    此致、

    维韦克

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    您好、Vivek、

    1. DMD 正常运行。 在测试中、我只使用"开启"状态下所有像素的模式。 但它不取决于模式。 例如、它对于棋盘图形是相同的。

    2.我正在使用 EKB (DLPC3479)推出的 E4750平台、该平台没有 LED 且没有投影光学元件。 我使用的是 DLP Pico 显示和光控制 EVM 软件以及"显示"选项卡中的"颜色"图案。

    3.我使用准直高斯波束以6mm 的波束直径照射 DMD。

    4. DMD 后面没有投影光学元件。 我刚刚看到的是"彩色" DMD 图案的衍射图案。 我在傅里叶平面上也通过在 DMD 之后仅一个透镜完成了这一操作。

    附加的图像仅显示在 DMD 之后没有任何光学器件的屏幕上。 在垂直方向上、您可以看到两个明亮的衍射阶数。 我无法调节入射角、因此我得到一个明显的衍射顺序、这对于我的应用是必需的。 DMD 被定向、使得长轴沿垂直方向。

    此致、

    帕斯卡

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    Pascal、您好:

    感谢您提供的信息! 我需要对其进行深入研究、然后再与您联系。  

    请注意、由于美国的感恩节假期、

    此致、

    洛里  

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    Pascal、您好:

    感谢您的耐心。 我们需要对其进行建模、并探索为什么您会看到两种明显的扩散。 您是否可以测量这两个明显阶的强度?

    此致、

    维韦克

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    您好、Vivek、

    是的、我测量了不同衍射阶数的强度、如下图所示。

    此致、

    帕斯卡

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    Pascal、您好:

    我们运行仿真、也得到了类似的结果。 下图是仿真结果:

    我们相信您正处于一片火焰之中、而非一片火焰之中。

    我已随附了一篇有关"最大限度地提高基于 DMD 的投影光刻的能源利用率"的论文。 这有计算二法拉作用能量的示例和公式。 这可能会有所帮助。

    e2e.ti.com/.../Maximizing-energy-utilization-in-DMD_2D00_based-projection-lithography.pdf

    此致、

    维韦克

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    Pascal、您好:

    我还将上传 Matlab 代码、以便您对衍射进行建模和实验、并根据您在器件上看到的内容进行评估。

    e2e.ti.com/.../DiffractionModel_5F00_App_5F00_v11_5F00_Sweep.mlapp

    此致、

    维韦克

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    您好、Vivek、

    非常感谢您提供的资源、尤其是 Matlab 应用。 我可以再现您以5.4 TRP 像素模型、405nm 波长、43°照明角度和17°倾斜角发布的输出。

    但是、同样根据使用代码进行的计算、没有任何入射角可以实现比我目前拥有的更好的衍射效率。 特别是、中央阶下的第二个明显衍射阶始终存在。 如果是这种情况、我不能使用波长为405nm 的5.4µm 7.6µm TRP-type DMD、而必须切换到、例如、 μ m DMD……

    您能确认这一点吗?

    感谢你的帮助。

    此致、

    帕斯卡

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    Pascal、您好:

    我理解 F/#对此非常关键。 您可以在系统中使用哪个最快的 F/#?

    此致、

    维韦克