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器件型号：DLP800RE工具/软件：
您好：
摘自 Dewa 2024 HEP 论文、“此外、HEP DMD 采用 DLP 气密性晶圆级封装 (hWLP) 工艺进行封装。“ 在检查 HEP DMD 封装时、如果是环氧树脂类型、窗口周围的封装体可能无法形成密封。 窗口是在封装中形成密封、还是微镜在晶圆级进行密封？ 任何其他信息或指向其他资源以帮助理解这一点都将很有帮助。
谢谢、
基督教
