主题中讨论的其他器件:DLP650LE、、 DLP160CP、 DLP650LNIR、DLP4500NIR、 DLPDLCR2000EVM、 DLP4621-Q1
工具与软件:
我已在一个采用 DLP2000或 DLP650LE 的实验中对 DMD 进行评估、该实验在真空室内的10^-6 Torr 范围内的扭转摆上使用。 我正在评估3W 520nm 或5W 980nm 的脉冲激光源。 我想用脉冲激光以大约8Hz 的频率驱动扭转摆、因此必须确定相应的占空比。 这项实验将类似于 K. Chandrasekar 等人所述的"使用光学外差传感器和锁定检测对脉冲推进的敏感反转式摆推力支架进行表征"中概述的仪器
我是从您的文档 DLPA027B 开始的、题为"数字微镜器件散热注意事项、包括脉冲光源"、但它看起来与 Pico DMD 系列不兼容。 我想了解需要对 Pico DMD 系列进行哪些不同评估。
下面是我尝试使用3W 520nm 激光器通过 DLP2000 (DLPS140B)跟随 DLPA027B 的情况:
- 镜面与镜体差值
- q=95.49W/cm^2
- 聚焦于 DMD 中心的2mm 直径区域
- Q_adjusted = q*(1-mr)= 5.73W/ cm² μ s
- 520nm 时 MR=0.89 (来自 DLPA027B)
- deltaT_Mirror π 到镜体= 2*q_adjusted*(1/k) sqrt ((alpha*t_pulse))+T_i = 20.3 C
- k=160W/(m-C) (来自 DLPA027B)
- ALPLE=6.47E-5m^2/s (来自 DLPA027B)
- T_PULSE = 2.5ms
- T_I=20 μ s (ºC 起始环境温度)
- q=95.49W/cm^2
- 镜体与器件差值
- q_incident mirror = q * pitch²= 5.46E-5W
- Q_MIRROR = Q_INCENT MIRROR *(FF_ON*(1-mR))= 5.59E-6W
- FF_ON = 0.931 (来自 DLPA027B)
- 520nm 时 MR=0.89 (来自 DLPA027B)
- T_f = T_I +(Q_MIRROR * R_MIRROR 至器件)= 22.5 ºC
- T_i=20 C (假设初始脉冲的起始环境温度)
- R_mirror 至芯片= 4.47E5 ºC /W (来自 DLPA027B 不在 DLPS140B 中)
- T_off = 0.1225s >> 5τ μ s [完全冷却]
- τ= 11.49μs (来自 DLPA027B)
- deltaT_Bulk 到器件的镜像= T_f +(T_i + T_f) e^(-t_pulse/delta τ)= 22.5 ºC
- T_i=20 μ s (ºC 初始脉冲的起始环境温度)
- q_incident mirror = q * pitch²= 5.46E-5W
- 与陶瓷差值
- q_electrical = 0.045W (来自 DLPS140B 示例)
- Δ T_DMD =(1 -溢出)*((FF_OFF *(1 - MR))+(1 - FF_OFF))+(2 * Δ_WINDOW)+溢出=α α -4.99 <=这似乎是错误的
- FF_OFF = 0.724 (来自 DLPA027B)
- 520nm 时 MR=0.89 (来自 DLPA027B)
- Δ t _WINDOW = 0.007 (α DLPA027B 且与 DLPA031E 交叉参考)
- 溢出= 1-(活动阵列面积/事故面积)= -17.6<=这似乎是错误的
- 有源阵列面积=(7.57μm * 1280)+(7.57μm * 800)= 5.85E-5 m²
- π d²= 0.25 m² d^2 =3.142 μ F = 3.14E-6 μ F
- d = 2mm (假设的投影区域)
- 我不打算将摆锤投射到整个 DMD 上、因为它会沿 DMD 宽度摆动。
- 我认为、溢出是为了反映有多少光入射到陶瓷上。
- 占空比= t_pulse/(t_pulse+t_off)= 0.02
- T_PULSE = 2.5ms
- T_off = 0.1225s
- Q_Average 光 cm²密度= q *占空比= 1.91W/μ s
- q_average 光功率=有效面积* q_average 光功率密度= 1.12W
- q_illimunation = α_window / q_average 光功率= -12.3 W <=这似乎是错误的
- deltaT_Silicon 至 Ceramic =(Q_ELECTRICAL + Q_ILLUMINATION)* R_Silicon 至 Ceramic = -6.12 ºC <=这似乎是错误的
- R_Silicon to Ceramic = 0.5 ºC μ F/W (来自 DLPA027B、不在 DLPS140B 中)
- 镜面至陶瓷
- T_MIRROR SURFACE = T_CERAMIC + deltaT_Mirror ºC 至镜体+ deltaT_Bulk Mirror 至器件+ deltaT_Silicon 至 Ceramic = 56.68 μ s
一些相关问题:
- 在第6.5节中、DLP2000和 DLP160CP 均仅提供在 TP1处测得的热阻。 为什么不同时 向硅提供 R_mirror 并 向陶瓷提供 R_Silicon?
- DLP160CP 为散热界面提供了一个较小的区域、但 DLP2000没有。 是否有关于 DLP2000功能区的热界面的任何文档?
- 在800nm 以上、两个 DMD 均限制为10mW/cm^2;然而、这是否取决于占空比? 我问这个问题、以了解我提供的5W 980nm 激光器是否是有用的替代产品。