有一个MSP430F5438A 烧毁的问题

有一个MSP430F5438A ，在使用的过程中突然烧毁，其他的MSP430F5438A没问题。

是通过LDO供电，当时还与电脑的串口、示波器地线相连，还挂着仿真器，但是没有进行程序烧写及仿真，前面几天程序还正常的运行，突然发现电流不对了，然后检查发现单片机的电源和地已经击穿短在一起了，这种情况可能是什么原因造成的呢？谢谢

使用的器件都是正规渠道来的，使用前都用三氯乙烯超声清洗过的
整个电路上和单片机有关的器件我都卸下来测过，只有单片机的电源和地市短的。