RTOS|AM437x TimerModule定时中断不准问题

开发板：AM437x IDK
开发环境：CCS6、TI-RTOS
问题：通过SYS/BOIS使能Timer Module，并以cfg方式创建定时中断，代码如下：

var timerParams = new Timer.Params();
timerParams.period = 200;
timerParams.periodType = Timer.PeriodType_MICROSECS;
timerParams.arg = 1;
Timer.create(null, '&Timer200us_Int', timerParams);

实际运行定时中断频率比200us快，约为166us，请问如何解决？