[参考译文] LDC1612：使用电感式传感进行线性位移测量。

您好、Rajesh、

可以使用 LDC1612测量小于100um 的位移。 但是、系统的分辨率取决于许多变量、包括传感器线圈尺寸、目标尺寸和材料、系统的本底噪声、目标与传感器线圈之间的距离(最小和最大)、系统所需的采样率、 以及是否需要检测绝对距离或相对运动。

如果您不熟悉电感式感应、我建议从以下应用手册开始：

LDC 传感器设计

LDC 目标设计

如果您已经熟悉这些应用手册或知道如何设计电感式传感线圈和目标、我建议阅读此应用手册：

优化 LDC161x 的 L 测量分辨率

最后、确定系统可行性的最佳工具之一是 LDC 工具 Excel 计算器。 螺旋电感器设计器和 LDC131x-161x_Config 表将对您最有用。 计算器工具中的所有工作表都包含.pdf 说明。 您应该能够使用此工具估算您的分辨率。 我建议首先使用螺旋电感器设计器工作表设计传感器线圈、然后将这些设置导入到 LDC131x-161x_Config 工作表中。 然后、使用轴向目标移动计算部分计算最大目标距离与距离之比小于1微米的频率偏移。 然后、将此频率偏移与预期的本底噪声进行比较、以确定 SNR 是否足够高以支持次微米分辨率。 我还建议使用 LDC1612EVM 来测量系统的本底噪声。

此致、