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器件型号：DLPDLCR471TPEVM 工具与软件：
大家好、我正在进行使用 DMD 为 i-line 光阻编写微米级特征的系统原型设计的过程、我们从其中一个套件开始、并且我们希望对其进行修改、以便与365-385nm 波长的 LED 配合使用。
问题是、如果 DMD 之前的光学元件是由塑料制成、它们将吸收大部分光。
您是否知道 DLPDLCR471TPEVM 光学引擎内的透镜、蝇眼阵列等是否都是玻璃？或者它是否使用塑料元件？
