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Other Parts Discussed in Thread: LDC1612
https://e2e.ti.com/support/sensors-group/sensors/f/sensors-forum/669696/fdc2112-displacement-sensing-for-wafer-inspection
大家好、团队、
FDC 是否可以实现以下测量？
*晶圆平坦度检查
从传感器到晶圆的距离为14mm 或25mm
分辨率0.1mm
采样率150sps
此致、
特顿苏罗
您好、Tetsuro、
这是不容易实现的。 目标距离高达25mm、分辨率为0.1mm、这需要更大的传感器。 为了了解表面平整度、传感器需要移动、扫描表面并查找任何偏差。 此外、传感器还需要区分倾斜与晶圆的平坦度或其他表面效应。 这可能是可能的、但您需要大量评估才能证明。
最棒的
Jiashow
