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我们正在对下列部件进行 DPA。 根据 MIL-STD-883、TM 2018、平面裸片不需要 SEM。 裸片是完全平面的、没有氧化层阶跃吗? 是否使用了化学机械抛光(CMP)工艺? 还是需要 SEM?
5962-1222402VHA (TPS7A4501-SP)
5962R9951707VZA (LM117GWRLQMLV)
谢谢、
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我们正在对下列部件进行 DPA。 根据 MIL-STD-883、TM 2018、平面裸片不需要 SEM。 裸片是完全平面的、没有氧化层阶跃吗? 是否使用了化学机械抛光(CMP)工艺? 还是需要 SEM?
5962-1222402VHA (TPS7A4501-SP)
5962R9951707VZA (LM117GWRLQMLV)
谢谢、
Michael、
后端没有任何氧化物或 CMP。 但是、我确实会看到在植入后和植入前氧化物沉积。 我猜这是基于这一点被认为是非平面的、对这种混乱表示歉意。 希望确认 5962R1222403VXC (TPS7A4501RHAKGD)和 5962-1222402VHA (TPS7A4501-SP)是相似的。 我确实确认了另一个器件 5962R9951707VZA (LM117GWRLQMLV)没有任何氧化层。
谢谢、
Prakash L